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1：準(zhǔn)確度可達(dá)目標(biāo)混合百分比的±0.6%

2：?jiǎn)蝹€(gè)mfc的25 ms控制響應(yīng)（T63）

3：機(jī)載庫(kù)49可選擇的氣體校準(zhǔn)

4：混合多達(dá)10種元素氣體，支持預(yù)混氣體（多達(dá)5種成分）

5：嵌入式系統(tǒng)計(jì)算機(jī)集成壓力傳感模塊

6：高分辨率觸摸屏界面，實(shí)時(shí)多變量數(shù)據(jù)監(jiān)測(cè)

全量程流量范圍，取決于型號(hào)

0.5 SCCM滿量程流量范圍- 120,000 SLPM滿量程流量范圍

最大進(jìn)口壓力

145 PSIG（更高的壓力系統(tǒng)可用 與銷售工程師交談）

MXM-mini系列

多通道合一 6通道混氣儀低流量應(yīng)用

一：交鑰匙MXM-Mini的小尺寸版本，適用于低流量應(yīng)用

二：2至6個(gè)集成mfc，其中任何一個(gè)可以從0~10 SCCM到0~10 SLPM流量

三：全后面板連接所有氣體和連接

四：尺寸9.2*11.7*7.3(英寸)粉末涂層底盤與鋁流道

應(yīng)用行業(yè)和領(lǐng)域

1. **科研研究**：用于化學(xué)反應(yīng)、材料研究等需要特定氣體環(huán)境的實(shí)驗(yàn)。

2. **工業(yè)生產(chǎn)**：在半導(dǎo)體、化工等行業(yè)中，用于制備工藝氣體。

3. **環(huán)境監(jiān)測(cè)**：配制標(biāo)準(zhǔn)氣體，用于校準(zhǔn)檢測(cè)儀器。

4. **醫(yī)療領(lǐng)域**：用于制備醫(yī)用氣體，如麻醉氣體混合。

5. **其他領(lǐng)域**：需要稀釋配氣多路氣體場(chǎng)合。